從國際劃片機(jī)發(fā)展過程來看，從Ф150mm到Ф200mm，精度僅提高1μm，但這是在行程增大的條件下提高的，對(duì)導(dǎo)軌、絲杠等機(jī)械部件的精度及變形要求極嚴(yán)，要確保劃切精度和芯片安全，決不允許有誤差積累，因此，只能選擇閉環(huán)控制。要在不影響或盡量小地影響效率的前提下實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，必須采用高速高精度定位及其控制系統(tǒng)。高效能、快速響應(yīng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)Ф200mm硅片尺寸大、密度高、劃切刀痕小，因此，它對(duì)各方向動(dòng)態(tài)響應(yīng)和靜態(tài)穩(wěn)定性都有極高的要求，而各方向運(yùn)行的速度曲線也比較特殊。在做圖像對(duì)準(zhǔn)時(shí)，各運(yùn)動(dòng)方向的動(dòng)態(tài)響應(yīng)、運(yùn)動(dòng)速度和精度都直接影響到自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的準(zhǔn)確性、對(duì)準(zhǔn)效率和硅片的對(duì)準(zhǔn)通過率。
全自動(dòng)劃片機(jī)一般由主機(jī)部分、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)上下片和自動(dòng)清洗4個(gè)單元組成，其核心部分是主機(jī)。HP-821精密自動(dòng)劃片機(jī)是作為全自動(dòng)劃片機(jī)的主機(jī)部分進(jìn)行研制的，已具有雙軸劃切和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能，并留有其他配套部分的軟硬件接口，具備良好的可擴(kuò)展性。該機(jī)的研制成功，在為生產(chǎn)線提供一種Ф200mm自動(dòng)劃片機(jī)的同時(shí)，為Ф200mm全自動(dòng)劃片機(jī)的整機(jī)研制奠定了基礎(chǔ)。
分子束外延 分子束外延技術(shù)(L-MBE)是近年來發(fā)展的一種先進(jìn)的薄膜生長技術(shù), 在氧化鋅薄膜生長的研究中因其獨(dú)特的優(yōu)越性顯示出越來越強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力.在討論ZnO薄膜基本特性的基礎(chǔ)上, 較為詳細(xì)地論述了激光分子束外延技術(shù)及其在氧化鋅薄膜制備中的應(yīng)用和取得的新進(jìn)展.
成像系統(tǒng) PHOTO-CHROM是全新的薄層成像系統(tǒng)，無需電腦即可打印輸出。圖象可以儲(chǔ)存在軟盤中（3張TIFF或BMP圖片，或30張JPEG圖片），再轉(zhuǎn)移到電腦中。系統(tǒng)帶PHOTO-CHIROMRF分析軟件，可以和PC機(jī)整合
氣體過濾器 氣體過濾器系高壓級(jí),使用于空氣,氮?dú)獾冉橘|(zhì).用于濾去氣體中固體顆粒.具有重量輕,易于安裝,通氣流量大等特點(diǎn).
液體過濾器 一種液體過濾器裝置，包括一具有入口、出口的筒體，于該出口處設(shè)有蓋體，該筒體中設(shè)有至少兩組磁鐵單元，該磁鐵單元由多個(gè)磁鐵組合而成，且相鄰之磁鐵單元相對(duì)面具有相同磁極性，于該筒體中磁鐵單元后裝置有過濾單元，該過濾單元由可透析液體之濾網(wǎng)片設(shè)成筒狀。本實(shí)用新型亦可過濾液體中之鐵質(zhì)異物并使液體中之水軟化。 　
油過濾器 油液污染是系統(tǒng)故障的最主要原因，它會(huì)降低系統(tǒng)性能、縮短零部件壽命、增加換油次數(shù)和延長停機(jī)時(shí)間，給系統(tǒng)正常運(yùn)行帶來極大的負(fù)面影響。油過濾器用來對(duì)油液進(jìn)行合理有效過濾與凈化來控制油液污染。
擴(kuò)散片 LCD 光擴(kuò)散片
75PBA, 100PBU, 100S,
100SXE, 100MXE, 100LSE,
100GM2, 100TL2, 100TL4,
125TD3
LCD 光反射片
RW125, RW188,
GR38W, RW75CB, RWX3T

LED 光擴(kuò)散片
MTN-R1, MTN-G2
MTN-W1, MTN-W2
MTN-W4, MTN-W5
MTN-WX5, MTN-W7,
MTN-W8
D101, D105, D202
D204, D206, D207